容器組件

平晶使用方法

日期:2025-06-30 11:53
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摘要:
平晶使用方法
 
平麵平晶具體規格有Ф30mmФ45mmФ60mmФ80mmФ100mm;Ф150mm;Ф200mm;Ф250mm;Ф300mm共計九款。
平麵平晶主要和NG-C2高精度鈉光燈箱配套使用,用於以乾涉法檢驗塊規、量規、零件密封麵、測量儀器以及測量工具量麵的研合性和平麵度,適用於光學加工廠、廠礦企業計量室、精密加工車間、閥門密封麵現場檢測使用,也適用於高等院校、科學研究等單位做平麵度等檢測。
 
測量時,把平晶放在被測表麵上,且與被測表麵形成一個很小的楔角  ,以單色光源照射時會產生乾涉條紋。乾涉條紋的位置與光線的入射角有關。如入射光線垂直於被測表麵,且平晶與被測表麵間的間隙很小,則由平晶測量麵P 反射的光線與被測表麵反射的光線在測量麵 P 發生乾涉而出現明或暗的乾涉條紋。若在白光下,則出現彩色乾涉條紋。如乾涉條紋平直,相互平行,且分布均勻,則表示被測表麵的平麵度很好;如乾涉條紋彎曲,則表示平麵度不好。其誤差值為,式中 為兩乾涉條紋間距離, 為乾涉條紋的彎曲值, 為光波波長,白光波長一般以0.6微米計算。
當乾涉條紋平直、互相平行,且又均勻分布時,則說明其平麵度好;當乾涉條紋不規則、且無規律時,則說明其平麵度不好。
平麵平晶的乾涉條紋平直則表示平麵好.如果是彩色光圈一圈則是0.3微米,如看到不是一圈而是多圈則用所看到的圈數乘以0.3則是它的平麵度.如是弧形則表示是0.3以下
根據乾涉條紋計算平麵度誤差
1)測量時若出現向一個方向彎曲的乾涉條紋,如圖所示,調整平晶位置,使之出現3~5條乾涉帶,則平麵度誤差的近似值為:
f= (v/w)×(λ/2)
λ為光波波長,白光的平均波長為0.58μm,v為乾涉帶彎曲量,w為乾涉帶間距
但是如何**確定v和w的值,我也很迷惑!
2)根據光圈計算平麵度誤差
若被測平麵凹或凸,則會出現環形乾涉帶,調整平晶的位置,使乾涉帶數為少,則平麵度誤差的近似值為:
f=(λ/2) ×n
λ為光波波長,白光的平均波長為0.58μm;n為平晶直徑方向上的光圈數

示意圖如下:
 

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